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제품소개

제목

Thermal Profile Monitor

작성자
관리자
작성일
2016.01.05
첨부파일0
조회수
1385
내용


항목

내용

CPU

TMS320VC33

Memory

SRAM : 512K X 32Bit

Flash Memory : 2M X 8Bit

온도 제어

Channel : 32 Channel

온도 센서 : Pt100

Common DI

-

Common DO

-

AI

-

AO

-

통신

RS-232C : 1 Channel

크기

W250 X L120 X H30 (mm)

사용 전원

AC 220V(단상)

동작 온도

0 ~ 50

보관 온도

-10 ~ 70

질량

 

Application

Wafer 온도 Monitoring

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